| 项目 | 技术要求 |
| 灵敏度（分辨率*） | 0.1µm-5µm范围内粒径分辨率≦10% |
| 测量不确定度 | 在粒径设定档，浓度误差±20% |
| 校准周期 | 不超过12个月，或规定的性能验证时 |
| 计数效率 | *小粒径阀值时（50±20%），大于或等于*小粒径阀值的1.5倍时（100±10%） |
| 低浓度范围 | 与实际预期的*低计数相比，伪计数不显著。自净阶段计数在一段时间内等于零（例如，5min内无计数） |
| 高浓度范围 | 在使用点，大于设施洁净度上限浓度2倍，且不超过制造商建议*大浓度的75% |
*注：粒径分辨率大于10%的仪器，给出的粒子计数结果可能有高达1个数量等级的波动。
