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粒子计数器技术要求


项目
技术要求
灵敏度(分辨率*)
0.1µm-5µm范围内粒径分辨率≦10%
测量不确定度
在粒径设定档,浓度误差±20%
校准周期
不超过12个月,或规定的性能验证时
计数效率
最小粒径阀值时(50±20%),大于或等于最小粒径阀值的1.5倍时(100±10%)
低浓度范围
与实际预期的最低计数相比,伪计数不显著。自净阶段计数在一段时间内等于零(例如,5min内无计数)
高浓度范围
在使用点,大于设施洁净度上限浓度2倍,且不超过制造商建议最大浓度的75%
*注:粒径分辨率大于10%的仪器,给出的粒子计数结果可能有高达1个数量等级的波动。
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